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在现场看了一会之后，从越打了一个电话给熊院士 ，熊老，我刚回来，你那边怎么样了？电话那头的熊院士心情看来不错 ，他笑着跟从越说道：一切顺利，经过测试使用了193nm波长的arf氟化氩准分子激光光源，步进式扫描投影方式的这两台光刻机最高芯片加工精度都超过了35纳米，不过良品率目前还不能确定 ，这要依据所加工芯片的复杂度而定
，听到这个好消息，从越也很高兴
 ，但是他也没忘了问熊院士另外一件事：熊老

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